半导体设备行业：国产高端设备加速突破，AI推动先进工艺产能显著扩张－事件点评报告

#核心观点： 1、国产半导体设备厂商高端新品持续突破，量产规模不断增加，在自主可控的强需求下有望迎来新一轮结构性机遇。 2、AI正推动先进工艺产能显著扩张，同时国内半导体产业链正致力于提升算力芯片的国产化率。 3、全球7nm及以下先进工艺月产能预计从2024年的85万片增长至2028年的140万片，CAGR约为14%。 4、2nm及以下工艺月产能将从2025年的不足20万片快速增长到2028年的超50万片。 5、SEMI预计先进工艺设备支出2028年将超500亿美元，2024年-2028年CAGR为18%。 #投资建议： 1、中微公司：预计25H1营收约49.61亿元，同比增长约43.88%，其中刻蚀设备收入增长约40.12%达37.81亿元，LPCVD薄膜设备收入增长约608.19%达1.99亿元。 2、拓荆科技：预计25Q2营收12.1-12.6亿元，同比增长52%-58%，环比增长71%-78%；归母净利润2.38-2.47亿元，同比增长101%-108%。 3、建议关注：北方华创、华海清科、中微公司、芯源微、拓荆科技、中科飞测、盛美上海、微导纳米等。 #风险提示： 1、行业与市场波动风险。 2、国际贸易摩擦风险。 3、新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险。 4、晶圆厂产能扩张进度不及预期风险。 5、行业竞争加剧风险。