电子行业：半导体制程精密抛光设备，国产厂商崛起－中国半导体化学机械研磨装置产业（精简版）－2025年中国半导体CMP设备行业概览250407

半导体CMP设备产业链上游是原材料，核心耗材包括抛光液、抛光垫和抛光盘等；中游是CMP设备制造商，12英寸CMP设备中国代表企业为华海清科；下游主要应用在集成电路领域

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