微导纳米(688147):ALD、CVD助力3D存储技术迭代

#核心观点

1. 半导体业务高速增长：受益于国产存储芯片产能扩充及逻辑、先进封装等领域设备国产化率提升，公司半导体业务保持稳健增长。2025年1-9月半导体领域新增订单约14.83亿元，同比增长97.26%，其中超过80%来自存储芯片NAND与DRAM头部客户。2025年7-9月实现半导体设备营收约3.33亿元，同比增长132.66%；2025年1-9月累计实现半导体设备营收约5.26亿元，同比增长78.27%。
2. 募投项目提升产能与研发实力：公司成功发行11亿元可转债，其中6.43亿元用于“半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设”，以提升产能支撑规模化交付；2.27亿元用于“研发实验室扩建”，旨在加速前沿技术向可量产、高稳定性产品转化，持续提高竞争优势。
3. 存储芯片技术迭代驱动设备需求：随着存储芯片转向3D架构且堆叠层数增加，ALD技术因其优异的三维覆盖和原子级膜厚控制精度，成为制造3D NAND和3D DRAM不可或缺的核心工艺。CVD硬掩膜工艺（尤其是无定形碳沉积）是确保高密度集成的关键技术。公司高温PECVD、TiN ALD等多款设备已实现规模量产，对推动存储芯片技术迭代具有关键支撑作用，相关设备需求有望持续放量。
4. 逻辑芯片与先进封装领域取得突破：在逻辑芯片领域，公司与国内主流厂商合作稳定，多款设备关键指标达到国际先进水平，能满足客户当前及未来技术需求。在先进封装领域，公司产品采用独特低温控制技术，满足低热预算、高翘曲度、厚膜沉积等需求，相关设备已在客户端验证并与潜在客户开展技术交流，有望受益于市场扩张。

#盈利预测与评级

预计公司2025/2026/2027年分别实现收入26/31/36亿元，归母净利润分别为3/4.3/5.6亿元，维持“买入”评级。

#风险提示

技术迭代及新产品开发风险；新产品验证进度不及预期的风险；季度业绩波动风险；订单履行风险；存货跌价的风险；应收账款和合同资产无法回收的风险；下游行业波动的风险；国内市场竞争加剧的风险；宏观环境风险；知识产权争议风险。

本报告摘要不保证其100%准确性，如有疑问，请阅读正文文件。